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HONDA本多電子 石英振動(dòng)體清洗機(jī)實(shí)現(xiàn)低損傷和高清潔度的新一代清潔,具有小型化圖案的晶圓,具有低損傷 ■ 超聲波疊加在石英振動(dòng)體上,清洗半導(dǎo)體晶圓通過化學(xué)溶液將超聲波振動(dòng)從石英振動(dòng)器傳播到半導(dǎo)體晶圓,接觸點(diǎn)處的化學(xué)溶液振動(dòng),加速度去除表面的污垢。■ 實(shí)現(xiàn)清潔清潔,減少對半導(dǎo)體晶圓的損壞通過使用石英與化學(xué)溶液接觸,與使用橡膠材料的設(shè)備(如填料)相比,不會(huì)出現(xiàn)橡膠的洗脫或磨損。
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HONDA本多電子 石英振動(dòng)體清洗機(jī)
實(shí)現(xiàn)低損傷和高清潔度的新一代清潔,具有小型化圖案的晶圓,具有低損傷 ■ 超聲波疊加在石英振動(dòng)體上,清洗半導(dǎo)體晶圓通過
化學(xué)溶液將超聲波振動(dòng)從石英振動(dòng)器傳播到半導(dǎo)體晶圓,接觸點(diǎn)處的化學(xué)溶液振動(dòng),加速度去除表面的污垢。
■ 實(shí)現(xiàn)清潔清潔,減少對半導(dǎo)體晶圓的損壞通過使用石英與化學(xué)溶液接觸,與使用橡膠材料的設(shè)備(如填料)相比,不會(huì)出現(xiàn)橡膠的洗脫或磨損。
2006年,我們成為一家將石英振動(dòng)超聲波清洗裝置商業(yè)化的公司。在這種方法中,超聲波疊加在石英振動(dòng)器上以清潔半導(dǎo)體晶圓。
與批量清洗和流水清洗相比,可以減少化學(xué)溶液的使用量,并且由于接液部件僅是石英玻璃和橡膠材料(如填料)不與液體接觸,因此可以保持高水平的清潔度。
此外,通過根據(jù)用途準(zhǔn)備石英振動(dòng)器的形狀,可以根據(jù)需要進(jìn)行有效的清潔,例如低損傷清潔、大面積清潔以及斜面(端面)和缺口(晶圓端面的切口)的清潔。
HONDA本多電子 石英振動(dòng)體清洗機(jī)
由于配備了換能器冷卻功能,因此通過用氣體(氮?dú)獾龋├鋮s換能器,可以穩(wěn)定連續(xù)運(yùn)行,而不會(huì)出現(xiàn)頻率波動(dòng)。此外,通過冷卻,溫度不會(huì)突然變化,使用壽命長。
磨邊后的抗蝕劑殘留物去除,灰化后的聚合物去除,CMP后的柵極電極清洗
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